国度常识产权局信息裸露，三菱化学株式会社、盖列斯专有限公司苦求一项名为“锡化合物、锡组合物、它们的制造才能、抗蚀剂溶液、图案造成才能、薄膜、图案化的薄膜以及基板的制造才能”的专利，公开号CN122180693A，苦求日历为2024年8月。

专利摘录裸露，通过平衡地具有溶化性、疏水性、抗蚀剂机灵度等特色，动作高性能的抗蚀剂材料，提供下述锡化合物。一种锡化合物，其是具有锡原子、有机基团R以及氧配体和/或羟基配体的锡化合物，开云·体育中国官网其中，在上述锡化合物一个分子中包含两种以上上述有机基团R，何况包含Sn-O-Sn结构，上述有机基团R具有1～30个碳原子。

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